高解析热场发射扫描电子显微镜

发布时间:2013-02-24      访问次数:

高解析热场发射扫描电子显微镜 

设备名称:

高解析热场发射扫描电子显微镜(FESEM

    号:

JSM-7001F  

  地:

日本JEOL

    值:

300万元    

购置年份:

20104

主要技术参数:

主要技术参数:

1.分辨率:1.2nm(30kV)/3.0nm(1kV) ;

2.加速电压:0.5KV-30kV;                

3.放大倍数:10-500K ;  

4.大束流高分辨5nAWD10mm,15kV时分辨率3.0nm ;

5.束流强度:1pA200nA  

主要特点:

1.浸没式热场发射电子枪,束流强度最大200nA

2.无漏磁物镜设计,便于磁性样品观测和EBSP观测不变形;

3.自动光阑角控制器,无需调整光阑;

4.全自动控制聚焦、合轴、消像散、控制扫描速度;

5.适于配合多种分析性探头。

应用领域:

主要用于对材料微观组织、表面形貌、断裂断口等的观察分析,同时配有丹麦HKL公司Channel-5型电子背散射衍射分析系统,可在观察微观形貌的同时,进行微区成分的定点分析、线、面分布分析,微区物相晶体结构、晶体取向、取向分布等的分析。